فرمت فایل: ورد ( قابلیت ویرایش )
قسمتی از محتوی متن ...
تعداد صفحات : 98 صفحه
مقدمه : . یون گیری واکنشی- PECVD- Ashing- پراکنده کردن مایعات- شیمی پلاسمایی- فیزیک پلاسما- عکس العمل سطوح نسبت به یکدیگر سخنران: Herbert H.Sawin پروفسور مهندسی شیمی و مهندسی برق و علوم کامپیوتر از مؤسسه علم و صنعت ماساچوست (MIT)، شهر کمبریج، MA پیشنهادهای فهرست شدة سمینار:. July 8-12,2002کمبریج، ماساچوست ارزیابی های سمینار معرفی سمینار طرح کلی سمینار شرح حال و تحقیقات جاری هرب ساوین زمینه ها و خصوصیات خواسته شده از ثبت نام کنندگان روند کار و نوع سمینار اطلاعات برای ذخیره جا در هتل اطلاعات ثبت نام آموزش در سایت یادداشتهای نمونه سمینار مقالات اخیر ساوین تماس ها برای سوالات ثبت نام در وب سایت اطلاعات ناحیة بوستون سوابق آقای ساوین 1-معرفی فیزیک پلاسما فرآیند ریزالکترونیک 2-سیفتیک گازی (Gas Kinetics) مدل سیفتیک گازی مدل توزیع ماکسول- بولتزمن مدل گازی ساده شده محتوای انرژی نرخ برخورد بین مولکولها مسیر آزاد سیالیت عددی ذرات گاز روی یک سطح فشار گازی خواص انتقال جریان گاز وضعیت سیال رسانایی رساناها احتمال برخورد پراکندگی گاز- گار پراکندگی ذره از یک آرایش ثابت انتشار ارتجاعی برخورد غیر ارتجاعی نمونه های فرآیندهای برخورد غیر ارتجاعی عکس العمل های فاز- گازی 3-فیزیک پلاسما توزیع انرژی الکترونی سینتیک همگونی پلاسما مدل توزیع (مارجینوا) مدل توزیع (دروی وشتاین) انتقال ذره باردار شده و باردار شدن فضایی سینتیک گاز رقیق شده شکافت انتشار دو قطبی تجمع غلاف سینتیک سادة غلاف حفاظت یا پوشش «دیبای» تجمع غلاف و آزمایش بوهم (Bohm) آزمایش غلاف بوهم خصوصیات میلة آزمایش شکست و نگهداری، تخلیة rf تقریب میدان مشابه تقریب میدان غیرمشابه مدل سازی ئیدرودینامیک خودساختة تخلیة rf اندازه گیری تخریب rf مدل توازن الکترونیکی مقایسة تخریب rf اندازه گیری شده و محاسبه شده ارائه مدل به سبک مونت کارلوی تخلیة rf خود با یا سنیگ rf (تجمع خودبخودی rf) سیستم همگن (متقارن) توزیع ولتاژ در سیستم rf توزیع ولتاژ در پلاسمای خازنی rf متقارن و غیر متقارن مدار معادل تخلیة rf تنظیم الکترودها سینتیک بمباران یونی تخلیة اپتیکی لم اندازه گیری حرکت ریزنگاری تخلیة اپتیکی فرآیند برخورد الکترون برخورد الکترونی اکسیژن در پلاسما 4-تخلیه های مدار مستقیم (DC) امیژن ثانویه الکترون در بمباران یونی بمباران خنثی امیژن ثانویه عمل فتوامیژن الکترونهای ثانوی ناحیة کاتدی یونیزاسیون در غلاف توزیع انرژی یونها الکترونهای اشعه ای (الکترونهای سریع) ناحیة آند مدل سازی پلاسمایی DC 5-تخلیه های Rf فیزیک پلاسمای rf خازنی فیزیک تخلیه RF که بصورت القایی فردوج شده اند. فیزیک تخلیه رزونانس الکترون- سیلکوترون فیزیک تخلیة هلیکون پیکره بندی و سخت افزار رآکتور همگن کردن شبکه ها و تنظیم کننده ها شبکه های الکترونیکی همسان ساده شده تنظیم کننده های موج کوتاه رآکتورهای لوله ای رآکتورهای صفحه موازی (دیودی) رآکتورهای صفحه موازی نامتقارن گیرندگان یون واکنشی گیرندگان واکنشی یون که بطور مغناطیسی افزایش یا رشد یافته اند. گیرندگان اشعه یون واکنشی بایاسینگ جریان مستقیم در گیرندگان نمادین گیرندگان دیودی ارتجاعی رآکتورهای تریودی بایاسینگ Rf محدود کردن مغناطیسی چند قطبی منابع پلاسمای غیر قابل دسترسی ECR توزیع شده منابع در حال جریان نزولی ماگنترولها مونتاژ
متن کامل را می توانید دانلود نمائید چون فقط تکه هایی از متن در این صفحه درج شده به صورت نمونه
ولی در فایل دانلودی بعد پرداخت متن کامل
همراه با تمام متن با فرمت ورد ,Word, که قابل ویرایش و کپی کردن می باشند
موجود است
تحقیق یون گیری واکنشی
