میکروسکوپ های الکترونی از سال 1940 به صورت تجاری موجود بودند. اما از سال 1950 به صورت وسیعی در بررسی فلزات مورد استفاده قرار گرفتند. امروزه با پیشرفتهای وسیعی که در زمینه خود دستگاه و نیز تهیه نمونه حاصل شده است.
میکروسکوپ الکترونی خود را به عنوان یک ابزار ارزشمند در مطالعات متالورژیکی مطرح نموده است.
چرا باید از الکترون استفاده کرد؟
ازنظر تاریخی به علت محدودیت تفکیک میکروسکوپ های نوری که از طول موج نور مرئی حاصل می شود میکروسکوپ های الکترونی ارائه شده اند اما بعدها مشخص شد که استفاده از الکترون باعث بهبود همزمان قدرت تفکیک و عمق میدان می شود.
برخی از تعاریف:
قدرت تفکیک:
کوتاهترین فاصله بین دو نقطه که بتوان آنها را در میکروسکوپ به صورت دو جزء جداگانه دید.
عمق میدان:
محدوده ای که شئ در آن قرار می گیرد و چشم تغییری در کیفیت تصویر آن تشخیص نمی دهد.
عمق فوکوس:
محدوده ای که در آن تصویر واضح تشکیل می شود، در حالی که جسم در جای مشخص و ثابتی نسبت به عدسی قرار دارد.
بر هم کنش نمونه و الکترون
در اثر برخورد الکترون به نمونه 5 حالت مختلف می تواند روی دهد.
1.بدون هیچ گونه اثری از نمونه عبور کند.
2.به صورت الاستیک پخش شود (فقط جهت الکترون تغییر می کند)
3.متفرق شده و انکسار می یابند.
4.به صورت غیر الاستیک پخش می شوند (هم میزان انرژی و هم جهت الکترون تغییر می کند)
5.جذب می شوند.
تفرق غیر الاستیک
تفرق غیر الاستیک به هر فرایند ی که باعث می شود الکترون مقدار محسوسی از انرژی خود را از دست بدهد اطلاق می شود.
فرایندهای مختلف تفرق غیر الاستیک عبارتند از:
تفرق فنون (phonon scattering)
فنون کوانتومی امواج الاستیک ارتعاشات شبکه اتمی در یک جسم جامد است.
تفرق پلاسمون (plasomon scattering)
پلاسمون یک موج در دریای الکترونها در باند هدایت فلز است.
تهییج تک الکترون ظرفیت
تهییج مدار داخلی
شامل 89 اسلاید powerpoint
دانلود پاورپوینت میکروسکوپ الکترونی عبوری
